壓力類型

絕壓

控制壓力的滿量程

1000Torr、1200mbar

耐壓

3MPa

閥口滿量程流量

2、3、5SLM

控制方式

上游

溫度系數

Zero：±0.02% of F.S./℃；Span：±0.04% of Reading/℃

壓力分辨率

0.1 Torr

壓力控制精度

±1.0% of Reading(≥10%FS); ±0.2% of F.S. (<10%FS)

響應時間

< 1.0 S

工作溫度范圍

10 ℃ ～ 50 ℃

機械接口

雙卡套 1/4" 、 VCR 1/4" 陽接頭

閥類型

常閉

外漏

< 1 x 10-10(scc/sec He)

內漏

< 1.0% of 閥口滿量程流量 (閥關閉時，進氣端為25 psig，出氣端為大氣)

供電電源

+15 ～ +24 VDC(< 4 watts)

電氣接口

DB-9針