本產品有三種規格的過濾精度

5-10u、10-20u、20-30u。

氣體流通量

壓降為0.05MPa時，過濾精度為20-30u時，最大流通量為62.5升/MIN，其余高精度過濾器流量將會減小。

最高工作壓力

10MPa

漏氣率

單點<1×10-8sccs He。

工作環境溫度

0-65℃。

各金屬零件材料

00Cr17Ni14Mo2（316L）。

出入口接頭

Φ3、1/8″、Φ6、1/4″、Φ8、3/8″、Φ10、1/2″標準雙卡套接頭